光學(xué)平臺(tái),數(shù)量:2個(gè),主要技術(shù)參數(shù)為:(1)無(wú)磁光學(xué)平臺(tái)面板尺寸:1500mm*2400mm*305mm,帶M6的標(biāo)準(zhǔn)固定孔;(2)四個(gè)無(wú)磁氣浮支撐腿:高495mm(19.5英寸);(3)臺(tái)面板內(nèi)部真蜂窩狀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),沿蜂窩芯高度方向垂直黏合三芯接面;(4)自平衡時(shí)間:優(yōu)于1.5S;5.共振頻率:垂直1Hz,水平1.5Hz;(6)重復(fù)水平精度±0.25mm;(7)安裝孔密封;(8)側(cè)板:高阻尼側(cè)板;(9)金屬材料:無(wú)磁316不銹鋼;(10)低噪聲220V空壓機(jī):長(zhǎng)*寬*高≤35cm*28cm*34cm;重量≤18kg;流速~0.1m3/h;最大空氣壓力:8個(gè)大氣壓;儲(chǔ)罐容量~3.5L;工作聲音(距離30cm處)≤30db。